光譜橢偏儀

建模

測量參數(shù)可以模擬作為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動(dòng)掃描

我們光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。

SpectraRay/4，SENTECH所有的光譜橢偏測量軟件，包括數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和橢偏測量、反射和傳輸數(shù)據(jù)的擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度測量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大的材料數(shù)據(jù)庫。大量的散射模型允許對幾乎任何類型的材料建模。

SpectraRay/4提供了用戶友好的面向工作流的接口來操作SENTECH光譜橢偏測量工具以及建模、擬合和表示橢偏測量數(shù)據(jù)的綜合工具集。用戶界面結(jié)合了面向操作人員的配方模式以及用于交互式測量和建模的高級模式。

SpectraRay/4具有單軸和雙軸各向異性材料測量、薄膜厚度測量和層測量的功能。該軟件可處理樣品效應(yīng)，如去極化，非均勻性，散射(米勒矩陣)，以及背面反射。

SpectraRay/4包括用于數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出(包括ASCII)、文件管理、光譜的算術(shù)操作、顯示、打印和報(bào)告輸出(Word文件格式*.doc)的通用光譜橢偏測量軟件包的所有實(shí)用程序。腳本程序使得它非常靈活，適用于自動(dòng)化日常測量，為苛刻的應(yīng)用所研發(fā)，并可控制第三方硬件，如傳感器，加熱臺(tái)，樣品電池或低溫恒溫器。