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簡要描述:感應耦合電漿蝕刻是在標準反應離子蝕刻(RIE)的基礎上,添加電感耦合電漿的。感應耦合電漿由磁場圍繞石英晶體管所提供。產(chǎn)生的高密度電漿被線圈包圍,將充當變壓器中的次級線圈,加速電子和離子,從而引起碰撞,產(chǎn)生更多的離子和電子。
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品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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感應耦合電漿蝕刻(ICP)蝕刻是在標準反應離子蝕刻(RIE)的基礎上,添加電感耦合電漿的。感應耦合電漿由磁場圍繞石英晶體管所提供。產(chǎn)生的高密度電漿被線圈包圍,將充當變壓器中的次級線圈,加速電子和離子,從而引起碰撞,產(chǎn)生更多的離子和電子。
高密度的電漿和低真空度增強了具有非等向性的高蝕刻速率??梢愿鶕?jù)製程要求通過調(diào)節(jié)來自射頻發(fā)生器的直流偏壓來控制離子和電子能量。
SYSKEY的系統(tǒng)可以精準的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準度的薄膜蝕刻。
感應耦合電漿蝕刻參數(shù)
應用領域 | 腔體 |
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配置和優(yōu)點 | 選件 |
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