測量n, k,和膜厚

該軟件包是為R(λ)和T(λ)測量的高級分析而設(shè)計的。

疊層膜分析

可以測量單個薄膜和層疊膜的每一層的薄膜厚度和折射率。

大量色散模型

集成的色散模型用于描述所有常用材料的光學(xué)特性。利用快速擬合算法，通過改變模型參數(shù)將計算得到的光譜調(diào)整到實測光譜。

用于光譜數(shù)據(jù)的高級分析的SENTECH FTPadv Expert軟件包基于反射和透射測量確定薄膜厚度、折射率指數(shù)和消光系數(shù)。它擴展了薄膜厚度探針FTPadv的標(biāo)準(zhǔn)軟件包，用于更復(fù)雜的應(yīng)用，包括未知或非恒定光學(xué)性質(zhì)的材料。可以在光滑或粗糙、透明或吸收襯底上測量單個透明或半透明膜的膜厚、折射率指數(shù)和消光系數(shù)。該軟件允許對復(fù)雜層疊進(jìn)行分析，可以確定各疊層的參數(shù)。

FTPadv Expert 薄膜測量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中的用戶友好和基于配方操作的概念。具有突出擬合參數(shù)的光學(xué)模型、測量和計算的反射光譜，并且結(jié)果同時顯示在操作屏幕上。

該軟件包包括基于表格化材料文件以及參數(shù)化分散模型的大型和可擴展的材料庫。

FTPadv Expert軟件可選配用于膜厚探針FTPadv和反射儀RM 1000和RM 2000軟件包的一部分。